4200-SCS參數(shù)分析儀是一個模塊化、完全集成的系統(tǒng)，可根據(jù)測試要求進(jìn)行精密配置。

　　具有0.1fA(即100埃安)和1μV分辨率的吉時利4200-SCS半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)就是這樣一種解決方案。其專門提供的脈沖I-V工具套件為脈沖I-V測量提供了雙通道脈沖發(fā)生與測量功能。如果結(jié)合內(nèi)部安裝的高速脈沖發(fā)生器和示波器,4200及其PIV工具套件能夠同時實(shí)現(xiàn)直流和脈沖I-V測試。SMU內(nèi)產(chǎn)生的偏移電流已包括在吉時利4200-SCS型的技術(shù)指標(biāo)中。如圖1所示,輸入偏移電流增加至被測電流,所以儀表測量的是兩個電流之和。 圖1.SMU的輸入偏移電流 測量每個帶有4200-PA前置放大器的4200-SMU的偏移時,ForceHI和SenseHI端子上除金屬帽外不連接任何東西。這些三銷金屬帽已包含在系統(tǒng)中。

　　                                    KEITHLEY吉時利4200-SCS型半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)

　　SMU集4種功能于- -體:電壓源、電壓表、電流源、電流表;

　　可以向器件提供驅(qū)動電壓同時測量電流，也可以向器件提供電流并測量電壓;

　　圖形化的KITE軟件可以輕松地設(shè)定測試條件，設(shè)定電壓或電流，被測點(diǎn)數(shù)，保護(hù)電壓或電流值，完成各種I-V參數(shù)測試;

　　SM的數(shù)量與被測器件的端口數(shù)有關(guān)，原則上有幾個端口，就要配幾個SMU。

　　一般來說，keithley吉時利4200-SCS系統(tǒng)的最基本的組成部分就是I-V部分，I-V測 試是最基本，最核心的測試內(nèi)容，C-V測試，乃至脈沖I-V的測試都是其擴(kuò)展部分，根據(jù)用戶的經(jīng)費(fèi)情況和研究的器件類型。來對這個系統(tǒng)進(jìn)行配置。

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