源測量單元(SMU)即:源表，它同時具有測量和源兩種功能。也就是說源表(SMU)測量儀在測量儀器上附加電流和電壓源功能，可同時精確采集和測量電壓和/或電流值。為各種低電平測量應(yīng)用提供了額外的靈活性。

　　例如:很高的電阻值可以通過在其兩端施加電壓，測量流過的電流值而獲得。增加了源功能的源表(SMU)顯然較使用幾臺獨(dú)立的儀器更方便，更適于應(yīng)用在檢測產(chǎn)生I-V特性曲線的半導(dǎo)體芯片或其它器件的測試方面。

　　典型的SMU可提供以下四種功能

　　電壓測量

　　電流測量

　　電壓源

　　電流源

　　這些功能可以單獨(dú)使用亦可按下列方式組合使用

　　做為電壓源的同時-測量電流，或做為電流源的同時-測量電壓。

　　SMU的許多特性類似于靜電計(jì),因此它適用于低電平測量。其輸入電阻非常高(典型值為100T-Q或更高)，做高源內(nèi)阻電壓測量時減小了電路的負(fù)載誤差。極小電流測量靈敏度類似于皮安表，有的低于10fA。

　　源表(SMU)的另一個重要特點(diǎn)是其掃描功能。無論電壓還是電流掃描均可以特定的增量在指定的量程內(nèi)進(jìn)行掃描，同時測量每一階梯的電流或電壓值。SMU內(nèi)置的源-延遲-測量循環(huán)可以使測量速度最優(yōu)化，以保證當(dāng)電流需要足夠的建立時間和測量的完整性。

　　如今的數(shù)字源表儀器與源-測量單元(SMU)是類似的,包括電流和電壓源，電流和電壓測量以及掃描等性能。此外數(shù)字源表儀器還可直接顯示電阻測量值。典型的數(shù)字源表不像源-測量單元那樣具有極高輸人電阻或極低的弱電流測量能力。數(shù)字源表是為常規(guī)的測試和高速生產(chǎn)測試等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。它通常用于中低電平測試和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。與只能做單點(diǎn)測量的數(shù)字多用表不同，數(shù)字源表由于其內(nèi)置了源功能，所以可以用來生成一組電流-電壓(I-V)特性曲線，這對于半導(dǎo)體器件和材料的測試是非常有用的。當(dāng)做為電流源時，數(shù)字源表可與納伏表一起使用，通過自動反轉(zhuǎn)電流源的極性，修正偏置誤差來測量極低的電阻(即Delta模式)。

　　例如：2450數(shù)字源表是吉時利的新一代數(shù)字源表源測量單元(SMU)，并且能在您指尖真正實(shí)現(xiàn)歐姆定律(電流、電壓和電阻)測試。其新穎的圖形用戶接口(GUI)和先進(jìn)的容性觸摸屏技術(shù)方便直觀使用。

　　KEITHLEY吉時利2450數(shù)字源表

　　例如：Keithley吉時利2400系列數(shù)字源表吉時利數(shù)字源表系列特別適用于需要精密電壓源和電流源驅(qū)動，同時進(jìn)行電流與電壓測量的測試應(yīng)用。所有源表都提供精密的電壓和電流源測量能力。每個源表均由一個高穩(wěn)定的直流源和一個真儀器級的5位半多功能表組成。

　　該電源特性包括：低噪聲，高精度和回讀功能。萬用表功能包括高重復(fù)性和低噪音。其結(jié)果形成了一個緊湊的單通道直流參數(shù)測試儀。在操作中，這些儀器可以作為一個電壓源，電流源，電壓表，電流表和歐姆表。通信、半導(dǎo)體、計(jì)算機(jī)、汽車與醫(yī)療行業(yè)的元件與模塊制造商都將發(fā)現(xiàn)，數(shù)字源表對于各種特征分析與生產(chǎn)過程測試都極具實(shí)用價值。

　　Keithley吉時利2410型高壓源表功率為20W，能夠提供和測量從±5μV(源)和±1μV(測量)到±1100V的電壓，及從±10pA到±1A的電流。由于具有較高的電壓源范圍，2410非常適合于電阻和電壓系數(shù)測試、變阻器、高壓二極管、開關(guān)、齊納管、射頻二極管和整流器的測試。2410在提供1100V電壓的同時能夠測量20mA的電流，具有精確測試所需的特殊分辨率。

　　吉時利2400-LV型數(shù)字源表

　　Keithley吉時利2420型高壓源表功率為60W，能夠提供和測量從±5μV(源)和±1μV(測量)到±60V的電壓，以及從±100pA到±3A的電流。2420的生產(chǎn)測試應(yīng)用必須在較高電流情況下進(jìn)行測試的電阻和電阻網(wǎng)絡(luò)、熱敏電阻、太陽能電池、普通電池。

　　Keithley吉時利2425型100W源表將2420的電壓范圍擴(kuò)展到100V，在1A的電流范圍內(nèi)具有100W的測量功率。與2420型高壓源表一樣，2425也具有3A電流60W功率的測量能力。2425是針對中等功率器件(例如DC-DC轉(zhuǎn)換器)、電源和其他需要60W和100W總直流功率元件的生產(chǎn)測試而設(shè)計(jì)的。

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