吉時利6514型靜電計具有靈活的接口性能，其電流靈敏度、電荷測量能力、分辨率和速度都優(yōu)于我們之前的靜電計。內(nèi)置式IEEE-488、RS-232與數(shù)字式I/O接口使它可以很容易地配置為全自動、高速系統(tǒng)，用于低電平測試。

　　KEITHLEY吉時利6514型靜電計特點：

　　(1)<1fA 噪聲;

　　(2)電壓測量時，輸入阻抗>200TΩ;

　　(3)電荷測量范圍：10fC-20μC;

　　(4)速度可達1200個讀數(shù)/秒;

　　(5)簡易的用戶界面提供開關(guān)，計算機以及元件處理器;

　　(6)主動消除電壓與電流的偏移。

　　吉時利6514型靜電計是高阻、微弱電流及靜電測量領(lǐng)域的標桿設備，其在電壓測量方面的優(yōu)勢主要圍繞超高輸入阻抗、極低噪聲和精密穩(wěn)定性設計，尤其適用于高阻源電壓(如壓電傳感器、靜電材料)和微弱信號的測量。以下是其核心優(yōu)點：

　　一、超高輸入阻抗：解決負載效應難題

　　輸入阻抗：>10¹⁴ Ω(典型值)，并聯(lián)電容<20pF

　　價值：

　　●測量高阻源電壓(GΩ~TΩ級)時幾乎不引入負載誤差(例如壓電陶瓷、光電二極管偏置電壓)。

　　●傳統(tǒng)萬用表(10MΩ)或普通靜電計(10¹²Ω)在高阻測量中會顯著拉低被測電壓，6514可保持信號真實性。

　　二、極低噪聲與高分辨率：捕捉微弱信號

　　電壓噪聲：< 3μV_p-p(在1s積分時間下)

　　最小可測電壓：0.1μV(在100nV量程)

　　價值：

　　●精準測量μV級弱電壓(如熱電偶微小輸出、生物電信號)。

　　●低噪聲基底確保高信噪比(SNR)，避免信號被噪聲淹沒。

　　三、寬動態(tài)范圍與高精度

　　●量程范圍：100nV ~ 200V(全量程覆蓋)

　　●直流精度：±0.05%(1年校準，典型值)

　　價值：

　　?單臺設備兼容納米伏級弱信號與百伏級高壓測量(如靜電發(fā)生器輸出)。

　　?長期精度滿足計量級測試需求(如校準實驗室)。

　　四、低電流注入：避免干擾敏感電路

　　●輸入偏置電流：< 3fA(典型值)

　　價值：

　　?測量高阻抗電路時，注入電流可忽略不計，防止被測電路狀態(tài)被改變(例如MEMS傳感器、絕緣材料表面電位)。

　　五、電荷中和功能(Electrometer Mode)

　　●主動電荷中和：

　　通過內(nèi)部電路自動消除輸入端累積的靜電荷(如電纜摩擦電荷)。

　　價值：

　　?解決絕緣體表面電位測量的漂移問題(如晶圓靜電分布測試)。

　　?提升重復性，避免虛假讀數(shù)。