

廣州市美達(dá)克數(shù)據(jù)科技有限公司
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吉時(shí)利2601B源表SMU在半導(dǎo)體測(cè)試中的應(yīng)用
作為2600B系列源表SMU系列產(chǎn)品的一部分,吉時(shí)利2601B型源表SMU是全新改良版單通道SMU,具有緊密集成的4象限設(shè)計(jì),能同步源和測(cè)量電壓/電流以提高研發(fā)到自動(dòng)生產(chǎn)測(cè)試等應(yīng)用的生產(chǎn)率。除保留了吉時(shí)利2601A的全部產(chǎn)品特點(diǎn)外,2601B還具有6位半分辨率、USB 2.0連接性以及能輕松移植遺留測(cè)試代碼的2400源表SMU軟件指令仿真。
吉時(shí)利2601B配備了吉時(shí)利的高速TSP?技術(shù)(比傳統(tǒng)PC至儀器的通信技術(shù)快200%),這極大提高了系統(tǒng)級(jí)速度,降低了測(cè)試成本。TSP-Link接口實(shí)現(xiàn)了多通道并行測(cè)試并擴(kuò)展了測(cè)試系統(tǒng),沒(méi)有主機(jī)開(kāi)銷。3A直流、10A脈沖和40V輸出的寬量程讓吉時(shí)利2601B適于測(cè)試寬范圍較大電流器件、材料、組件和分裝件。
一、吉時(shí)利2601B源表的核心技術(shù)特點(diǎn)
吉時(shí)利2601B源表是一款集成了電源、測(cè)量和控制系統(tǒng)的高精度測(cè)試儀器。其核心特點(diǎn)包括:
1. 高精度與寬量程:支持6位半分辨率,電流范圍覆蓋100fA至10A脈沖,電壓范圍覆蓋100nV至40V,滿足半導(dǎo)體器件從微安級(jí)到安培級(jí)的測(cè)試需求。
2. 四象限工作能力:可同步源和測(cè)量電壓/電流,實(shí)現(xiàn)雙向電源和負(fù)載模擬,適用于半導(dǎo)體器件的復(fù)雜特性分析。
3. 高速TSP技術(shù):內(nèi)置測(cè)試腳本處理(TSP)技術(shù),比傳統(tǒng)PC通信快200%,大幅提高測(cè)試效率,降低系統(tǒng)級(jí)測(cè)試成本。
4. 多通道擴(kuò)展能力:通過(guò)TSP-Link接口實(shí)現(xiàn)多通道并行測(cè)試,無(wú)需主機(jī)開(kāi)銷,適用于大規(guī)模生產(chǎn)線的自動(dòng)化測(cè)試。
5. 智能保護(hù)功能:過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)溫保護(hù)機(jī)制,確保測(cè)試過(guò)程中器件和儀器的安全。
這些技術(shù)特性使2601B在半導(dǎo)體測(cè)試中具備不可替代的優(yōu)勢(shì)。
二、半導(dǎo)體測(cè)試中的典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體器件特性分析(I-V曲線測(cè)試)
半導(dǎo)體器件的性能評(píng)估往往依賴于精確的I-V特性曲線。2601B的高分辨率(0.02%電流精度)和快速響應(yīng)能力,可準(zhǔn)確捕獲微弱電流變化。例如,在MOSFET、二極管或IGBT的測(cè)試中,通過(guò)設(shè)置恒流或恒壓模式,儀器能自動(dòng)調(diào)節(jié)輸出并實(shí)時(shí)記錄電壓-電流數(shù)據(jù),生成精確的I-V曲線。其內(nèi)置的Java I-V特性分析軟件可一鍵生成測(cè)試結(jié)果,幫助工程師快速判斷器件閾值電壓、導(dǎo)通電阻等關(guān)鍵參數(shù)。
2. 材料電學(xué)特性研究
在半導(dǎo)體材料研發(fā)階段,2601B的寬量程和脈沖功能尤為重要。例如,測(cè)試新型材料的導(dǎo)電性或評(píng)估薄膜電阻時(shí),儀器可通過(guò)微電流測(cè)量(最小100fA)捕捉材料的微弱電信號(hào)。此外,其脈沖測(cè)試功能(如10A@10V脈沖,上升時(shí)間<1.7μs)可模擬實(shí)際工作中的瞬態(tài)電流,幫助研究人員分析材料在動(dòng)態(tài)負(fù)載下的性能表現(xiàn)。這對(duì)于開(kāi)發(fā)高性能半導(dǎo)體材料至關(guān)重要。
3. 生產(chǎn)線自動(dòng)化測(cè)試
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,2601B的多通道并行測(cè)試能力顯著提升生產(chǎn)效率。通過(guò)TSP-Link擴(kuò)展技術(shù),用戶可構(gòu)建多通道測(cè)試系統(tǒng),同步對(duì)多個(gè)器件進(jìn)行功能測(cè)試或參數(shù)篩選。例如,在晶圓級(jí)測(cè)試中,儀器能同時(shí)測(cè)量數(shù)百個(gè)芯片的電流、電壓特性,并通過(guò)預(yù)設(shè)腳本自動(dòng)判斷良品/不良品,減少人工操作,提高測(cè)試吞吐量。
4. 可靠性測(cè)試與應(yīng)力分析
半導(dǎo)體器件的可靠性測(cè)試需要長(zhǎng)時(shí)間施加電壓或電流應(yīng)力。2601B的穩(wěn)定電源輸出和內(nèi)置保護(hù)機(jī)制確保測(cè)試過(guò)程的安全性和數(shù)據(jù)的可靠性。例如,在高溫老化測(cè)試中,儀器可持續(xù)輸出恒定電流并實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)參數(shù)變化,一旦檢測(cè)到異常(如過(guò)溫或漏電),立即觸發(fā)保護(hù)并停止測(cè)試,避免器件損壞。
5. 封裝與組件測(cè)試
對(duì)于封裝后的半導(dǎo)體組件(如模塊或PCB上的芯片),2601B的4象限源/測(cè)量功能可模擬實(shí)際工作條件。例如,在電源管理IC測(cè)試中,儀器既能作為電源提供穩(wěn)定的電壓,又能作為負(fù)載模擬不同負(fù)載條件,測(cè)量效率、功耗等關(guān)鍵指標(biāo)。其雙行顯示和大屏幕界面使工程師能同時(shí)監(jiān)控輸入/輸出參數(shù),簡(jiǎn)化操作流程。
三、技術(shù)優(yōu)勢(shì)帶來(lái)的實(shí)際效益
吉時(shí)利2601B在半導(dǎo)體測(cè)試中的應(yīng)用,不僅提升了測(cè)試精度和效率,還帶來(lái)了顯著的實(shí)際效益:
1. 數(shù)據(jù)可靠性增強(qiáng):高精度和自動(dòng)量程功能減少人為誤差,確保測(cè)試數(shù)據(jù)的一致性。
2. 研發(fā)周期縮短:高速TSP技術(shù)和自動(dòng)化腳本使復(fù)雜測(cè)試流程簡(jiǎn)化,加速新品驗(yàn)證。
3. 生產(chǎn)成本降低:多通道并行測(cè)試和遠(yuǎn)程控制能力減少設(shè)備投入和人力成本。
4. 兼容性與擴(kuò)展性:USB 2.0、LAN、GPIB等接口支持現(xiàn)有測(cè)試系統(tǒng)的無(wú)縫集成,便于設(shè)備升級(jí)。
四、未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)與挑戰(zhàn)
隨著半導(dǎo)體工藝向納米級(jí)演進(jìn),測(cè)試設(shè)備需應(yīng)對(duì)更高精度和更復(fù)雜測(cè)試場(chǎng)景的挑戰(zhàn)。吉時(shí)利2601B雖已具備業(yè)界領(lǐng)先的性能,但未來(lái)仍需進(jìn)一步提升脈沖頻率、降低噪聲干擾,并增強(qiáng)AI分析能力,以應(yīng)對(duì)量子計(jì)算、3D封裝等新興技術(shù)的測(cè)試需求。同時(shí),設(shè)備的易用性和云連接能力將成為重要發(fā)展方向,助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)智能化測(cè)試。
吉時(shí)利2601B源表憑借其高性能、多功能性和智能化設(shè)計(jì),已成為半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域的標(biāo)桿產(chǎn)品。無(wú)論是基礎(chǔ)研究、器件開(kāi)發(fā)還是大規(guī)模生產(chǎn),其精準(zhǔn)的測(cè)試能力和高效的自動(dòng)化功能為半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步提供了堅(jiān)實(shí)支持。未來(lái),隨著半導(dǎo)體技術(shù)的持續(xù)革新,2601B及其后續(xù)產(chǎn)品將繼續(xù)推動(dòng)測(cè)試技術(shù)的邊界,助力產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)更高水平的創(chuàng)新與發(fā)展。