用源電壓/測(cè)量電流法進(jìn)行高阻測(cè)量時(shí)，用戶必須考慮電壓源和電流表的準(zhǔn)確度，以及器件連接的完整性。從連接器經(jīng)過電纜進(jìn)入測(cè)試夾具的整個(gè)信號(hào)路徑都必須經(jīng)過優(yōu)化才能保持信號(hào)劣化最小。

電纜和連接器用于低電流和高電阻測(cè)量的兩種常見連接器類型是雙接頭的BNC連接器和三接頭的三同軸連接器。BNC連接器用于屏蔽層包裹單芯導(dǎo)體構(gòu)成的同軸電纜。在進(jìn)行高靈敏度測(cè)量時(shí)，屏蔽電纜具有最小化噪聲的重要作用。三同軸電纜配合SMU使用，因?yàn)榈谌灸軐?shí)現(xiàn)防護(hù)測(cè)量。

測(cè)量高電阻時(shí)，應(yīng)當(dāng)選擇芯與芯之間絕緣電阻高的電纜。質(zhì)量好的三同軸電纜采用聚乙烯絕緣材料，而且一根芯專用于屏蔽約為1E12 Ω/ft的絕緣電阻。一定要核對(duì)廠家的指標(biāo)并確保電纜和連接器都能用于高阻抗測(cè)量。同軸電纜和三同軸電纜都有適于低電平測(cè)量的低噪聲版本。低噪聲電纜的內(nèi)部石墨涂層能讓失調(diào)最小。即便普通同軸電纜的漏電流和噪聲電流都高于低噪聲電纜，但在某些情況下普通同軸電纜(例如RG-58)就夠用了。

電纜電阻值、電容值和漏電流隨電纜長(zhǎng)度增加而變化，所以盡可能讓所有連接電纜長(zhǎng)度最短極為重要。用屏蔽電纜和測(cè)試夾具可以防靜電。測(cè)試光敏器件時(shí)，一定要使用遮光的測(cè)試夾具。

為避免測(cè)量誤差，將靜電計(jì)、SMU或皮安表正確連至DUT非常重要。一定要將儀表的高阻端子連至被測(cè)電路的最高阻抗點(diǎn)。

測(cè)量低電流測(cè)量系統(tǒng)的失調(diào)電流

建立一個(gè)用于測(cè)量非常小電流的系統(tǒng)的第一步是要確定整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的零點(diǎn)偏差和漏電流，這樣有助于確定整個(gè)系統(tǒng)的噪底極限，設(shè)定查找潛在問題的起點(diǎn)，并在必要時(shí)對(duì)系統(tǒng)作出改進(jìn)。有兩種類型的偏差必須要加以考慮：內(nèi)部偏差和外部偏差。內(nèi)部偏差包括電流計(jì)的輸入偏置電流，外部偏差包括由連接電纜、適配器、測(cè)試夾具和探針引起的偏差。

首先，確定電流計(jì)的輸入偏置電流值，這可以通過測(cè)量最小量程時(shí)的開路電流來確定。然后在電流計(jì)的輸入端放置一個(gè)金屬帽(這不是用作短路，而是用作噪聲屏蔽)，選擇最小電流量程，當(dāng)讀數(shù)穩(wěn)定后記下電流值(見圖4)。最后將這個(gè)電流值與儀器的指標(biāo)進(jìn)行比較。

測(cè)量完輸入偏置電流后，還需要驗(yàn)證系統(tǒng)其余部分的偏差。通過逐個(gè)增加測(cè)試電路的附件并重復(fù)電流測(cè)量來重復(fù)偏差電流的測(cè)量。最終測(cè)量在測(cè)試電路中增加了所有電纜、連接器和測(cè)試夾具或探針臺(tái)后進(jìn)行，此時(shí)不應(yīng)連接設(shè)備。這個(gè)過程有助于判斷所有故障點(diǎn)，比如測(cè)量電路中的短接電纜。

圖4，源測(cè)量單元的輸入偏置電流與時(shí)間的關(guān)系。