測量電流的兩種基本方法是分流電流表法(幾乎所有DMM都采用，此方法的電流靈敏度有限)和反

饋電流表法(靜電計、皮安表和SMU等儀器使用)。雖然理想電流表電阻為零，但所有實際電流表

都存在內(nèi)阻。為了最小化負(fù)載誤差，電流表的內(nèi)部分流電阻應(yīng)比DUT電阻小很多。

在衡量一臺儀器是否適于低電流應(yīng)用時，仔細(xì)查看準(zhǔn)確度指標(biāo)非常重要。然而，低電流高阻測量

儀器可能采用不同格式來表示準(zhǔn)確度，這會使比較變得復(fù)雜。增益和失調(diào)誤差可以結(jié)合為百分?jǐn)?shù)

表示的指標(biāo)以及一系列最低有效位計數(shù)表示的指標(biāo)。準(zhǔn)確度還能用百萬分率表示。

高阻測量法

雖然可通過源電流/測量電壓或者源電壓/測量電流的方法測量電阻值，但高阻測量建議采用源電

壓/測量電流的方法?？梢允褂渺o電計(或皮安表)和電壓源進(jìn)行高阻測量。某些帶有內(nèi)建電壓源

的靜電計和皮安表能夠自動計算電阻值。

SMU還適于測量高電阻。在SMU內(nèi)部，電流表和電壓源采用串聯(lián)連接。未知電阻連接在SMU的HI施

加端子和LO施加端子之間。用源電壓/測量電流法進(jìn)行高阻測量時，用戶必須考慮電壓源和電流表的準(zhǔn)確度，以及器件連接的完整性。從連接器經(jīng)過電纜進(jìn)入測試夾具的整個信號路徑都必須經(jīng)過優(yōu)化才能保持信號劣化最

小。

電纜和連接器

用于低電流和高電阻測量的兩種常見連接器類型是雙接頭的BNC連接器和三接頭的三同軸連接器

。BNC連接器用于屏蔽層包裹單芯導(dǎo)體構(gòu)成的同軸電纜。在進(jìn)行高靈敏度測量時，屏蔽電纜具有

最小化噪聲的重要作用。三同軸電纜配合SMU使用，因為第三根芯能實現(xiàn)防護(hù)測量。

測量高電阻時，應(yīng)當(dāng)選擇芯與芯之間絕緣電阻高的電纜。質(zhì)量好的三同軸電纜采用聚乙烯絕緣材

料，而且一根芯專用于屏蔽約為1E12 Ω/ft的絕緣電阻。一定要核對廠家的指標(biāo)并確保電纜和連

接器都能用于高阻抗測量。同軸電纜和三同軸電纜都有適于低電平測量的低噪聲版本。低噪聲電

纜的內(nèi)部石墨涂層能讓失調(diào)最小。即便普通同軸電纜的漏電流和噪聲電流都高于低噪聲電纜，但

在某些情況下普通同軸電纜(例如RG-58)就夠用了。

電纜電阻值、電容值和漏電流隨電纜長度增加而變化，所以盡可能讓所有連接電纜長度最短極為

重要。用屏蔽電纜和測試夾具可以防靜電。測試光敏器件時，一定要使用遮光的測試夾具。

為避免測量誤差，將靜電計、SMU或皮安表正確連至DUT非常重要。一定要將儀表的高阻端子連至

被測電路的最高阻抗點。